本发明基于定量高压复合低压进气系统的难加工金属材料放电烧蚀加工方法，使用中空电极作诱导烧蚀用的电极，使工件与电极之间保持一定的相对运动速度，在直流或脉冲电源的作用下使电极与难加工金属材料之间产生火花放电，利用电火花放电，使难加工材料表面达到材料燃点温度以上处于活化状态；然后，该进气系统输出的定量高压复合低压助燃气体从中空电极内部通入活化区域，持续通入的低压气体与处于活化状态金属发生剧烈的燃烧反应，释放出热量，释放热量大于散失热量，烧蚀加工得以持续进行；间歇通入的定量高压气体使定量的活化材料发生燃爆反应。该进气系统使烧蚀加工处于持续不断的低压氧气诱导燃烧和定量高压氧气可控燃爆共同蚀除材料的过程。