本发明提供一种降低曝光图形拼接处色差的方法及装置，所述降低曝光图形拼接处色差的方法包括：调整拼接在一起的两个掩膜版的其中一个的位置偏移量，并同时调整被调整了位置偏移量的掩膜版所对应的蝇眼透镜与该蝇眼透镜对应的反射镜之间的距离，以使曝光后对应两个掩模版拼接处的暗线组成v字形状；其中，所述反射镜为将光线直接反射到该蝇眼透镜的反射镜。本发明提供一种降低曝光图形拼接处色差的方法及装置，可弱化曝光图形拼接处的色差。