本发明本提供了一种全息光栅自准直实时监测显影截止点的方法，该方法采用自准直角度入射，根据光栅方程可知，‑1级衍射角和入射角相等，即‑1级衍射光与入射光重合，此时的‑1级衍射光不会与其他衍射级次混淆；通过调节入射光的俯仰，分离‑1级衍射光与入射光；另外在此期间全部是根据待显影的潜像光栅进行的角度调节，不会产生衍射光角度偏转，因此接收此时的‑1级衍射光作为监测信号既不会产生衍射级次混淆，又不会参入入射光信号，可以根据此信号监测得到的有效的显影截止点。