本发明提供了一种实时监测显影过程的装置，包括显影模块、衍射光接收模块和监测模块，显影模块包括显影罐、以及设于显影罐上的光栅定位组件，该光栅定位组件用于将光栅固定在显影罐中进行显影；衍射光接收模块包括激光器和光电接收器，激光器用于发出激光束照射光栅，光电接收器用于接收激光束照射光栅后从光栅衍射出的光信号，并将光信号转换为电信号；监测模块包括与光电接收器连接的数据处理器、和与数据处理器连接的显示器，所述光电接收器接收到的光信号经过所述数据处理器处理后在所述显示器上显示为衍射光的强弱变化曲线。通过该装置，可以直接从该曲线上确定显影截止点，得到高质量的全息光栅掩模。